产品技术参数：
1.主要技术指标：
无尘等级：Class 100;
温度范围： RT+20～ +200℃/+300℃；
温度均匀度：200℃±4℃;
温度波动度：±0.5℃（空载）
温控精度：±0.1℃;
工作尺寸：216L ,324L,768L,无尘等级和尺寸可根据要求定制。